(来源:新型陶瓷)
近日,浙江大洋生物科技集团股份有限公司(大洋生物,003017.SZ)在互动者平台上表示,参股子公司芯之纯高纯陶瓷项目已开始试生产,现有部分产品顺利送样进行客户验证。半导体设备用高纯陶瓷耗材客户验证周期普遍较长,短期尚未形成批量订单。

该项目总投资2.4亿元,占地约40亩(规划用地面积26702平方米),总建筑面积19253.1平方米,聚焦高端半导体关键材料领域,投产后将进一步完善国内半导体产业链上游布局,项目建成后,可达到年产63100 件套半导体级高纯陶瓷产品的生产规模。
项目重点建设高纯陶瓷产品生产厂房、先进制造装置及配套设施,引进了高纯碳化硅沉积炉、精密数控加工中心、全自动清洗线等国际先进设备,致力于打造国内领先的半导体级高纯陶瓷材料生产基地。试生产阶段的启动,标志着项目已完成核心设备调试与工艺验证,即将进入规模化生产筹备阶段。
浙江芯之纯半导体材料有限公司成立于2023 年 12 月,是一家基于半导体市场需求,专业开发高端半导体材料的企业。公司由资深材料专家领衔组成的半导体材料研发团队,专注于碳化硅涂层技术的开发和应用,主要产品为超高纯化学气相沉积法制备的石墨基碳化硅涂层及固体碳化硅材料,可广泛应用于半导体设备以及LED等外延设备的关键耗材,生产技术国内领先,产品性能达到日本、美国等世界一流的水平。
据了解,公司通过自主研发与设备引进相结合的方式,已突破多项高纯陶瓷材料制备核心技术,此次试生产的产品性能已达到国际同类产品水平。项目的落地,不仅将提升企业自身竞争力,还将为长三角地区半导体产业集群提供关键材料支撑。
